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R2R半导体制造的极限质量控制解决方案

 第一,工业互联网的核心价值是打造全球优化土壤。

工业互联网最初源于通用电气2012年发布的Predix平台。2014年,通用电气与AT&T、思科、IBM和英特尔等五家公司建立了工业互联网联盟(IIC),逐步构建全球产业生态。
2018年左右,工业互联网之风吹向中国。随着中国政府《工业互联网发展行动计划(2018-2020)》和《新基础设施》等一系列顶层政策的推进,工业互联网的关注度和资本迅速提升。
随着中国工业互联网的不断整合和演进,其概念、模式和价值都得到了极大的拓展。事实上,早在2018年,工业互联网就已经在中国的制造系统中爆发出许多需求,如远程运维、机器联网、工厂数字化,但并没有统一的“名称”。现在,满足这些需求的解决方案由工业互联网以更加全面和规范的方式承载。
个创东至首席智能制造顾问王锦在接受艺鸥独家采访时表示:“目前,中国的工业互联网市场仍处于初级阶段。虽然发展了3-5年,但整体连接数量不够。工业互联网必须是人、物、数据、系统。连接工业互联网后,连接越多,爆炸值就越大。这和梅特卡夫定律类似。当网络中连接的节点超过一定阈值时,网络将爆发巨大的能量,我们必须等待。”
关于工业互联网可能爆发的巨大能量,亿欧智库在《2020年工业互联网行业研究报告》中预测了工业互联网的最终价值,这至少带来了三大颠覆模式:
从生产方式上看,C2M可以真正实现,实时响应、实时配送生产能力和物料、快速适应生产线流程、多批次、多环节可以同时进行;销售模式上,传统制造业以销售产品为主,未来制造企业以销售服务为主,如提供“服装服务”的SaaS式制造服务模式;在组织模式上,传统制造业存在大量重复机械工作的工人。未来制造业只会有工程师、数据分析师、现场维护等高级职位。
王锦博士的说法更具代表性:“中国制造业的信息化、数字化都是基于局部优化的思想。比如PLM、ERP、SCM、CRM都管理着制造业的某个环节,而工业互联网连接着整个公司乃至行业的管理系统,开辟了巨大的优化空间,这就是工业互联网的最大价值。”
“就好像瓶子先装了大石头,但还有装沙子的空间。沙子满了,还能装进水里。传统的信息系统是大石头,数字化是沙子,工业互联网是水。它可以暴露更多尚未被发现的优化空间。”
在工业互联的世界里,信息和数据将像水一样在制造系统中流动。当工业互联网的规模效应出现时,它所带来的创新价值就会“显现”,王锦认为我们正在接近“显现”的时刻。
二、格创东至的“怪胎精神”和“爆炸性产品”
2020年12月2日,由工业和信息化部、浙江省人民政府联合主办,国家工业信息安全发展研究中心、浙江省经济和信息化厅、杭州市人民政府承办,1亿欧元见证了充满极客色彩的东至团队入场。
它的入门项目是“R2R半导体制造的极限质量控制解决方案”。R2R(Run-to-Run)是一种非线性变量控制方法,它利用以前的批量生产过程、生产环境和产品测量数据来反馈优化的批量工艺配方参数。简单来说,这里的Run是指生产过程中的批次,生产线上的设备通过优化算法不断处于最优生产状态。
R2R有三个目标,即确保过程的稳定性和一致性,减少外部因素对过程的影响,以及确保稳定的质量波动和受控的生产变化。这种解决方案是对生产效率和产量要求极高的制造领域的核心生命力,该项目还获得了第二届中国工业互联网大赛二等奖。
R2R解决方案首次应用于半导体制造领域。在摩尔定律的限制下,由于工艺复杂、工序众多、质量控制困难、试错成本高,半导体生产面临着提高产量和缩短交货时间两大痛点。具体来说,在晶圆生产过程中,存在很多问题,如单批晶圆边缘点膜厚不均匀、多批晶圆平均膜厚不均匀等。
“现在投资一个半导体企业,假设需要700多亿的投资,但是5年就完全贬值了,也就是说停一个小时不生产,单台机器就亏5000元。因此,企业一定希望投入的高端设备能够全天候不间断、高质量、高稳定性地生产出来。”
王锦告诉艺鸥:“工业互联网是一个神经中枢,它可以随时发现这些设备的不良状况,并随时调整到最佳状态。这比凭经验手动调试要高效得多。目前可以从最少2小时的手动调试减少到30秒的自动调试,准确率远高于手动调试,会带来巨大的现实经济效益。”
R2R解决方案是个创东至成立三年以来的爆炸性产品。此外,各创东至在多项核心产品上投入了技术力量,如东至的多元分析建模工具MFA、EHM的设备健康管理、能源优化管理EMS、舒天东至的人工智能视觉检测系统。
爆炸性产品的逻辑背后是对行业场景的真实理解、抽象、建模和应用。催化创新的是“极客精神”。“就R2R解决方案而言,我们没有推广它们,半导体领域的人会发现我们。推动落地。”从全局优化中发现问题,利用工业互联网解决问题,是爆炸产品的底层支撑逻辑。
当然,在爆款产品之上,依托东至工业应用智能平台,各创东至也构建了“3+2+6”的核心产品策略,以满足各种工业场景的需求,包括三大核心平台——工业物联网平台、工业大数据平台、AI平台;两个赋能中间站——OT的APaaS平台、IT的Poros平台、生产运营优化的MOM、设备健康管理的EHM、能源管理优化的EMS、质量流程优化、机器视觉检测、供应链优化,为客户提供全方位的端到端服务,挖掘工业数据的价值。
目前,葛打造东至的计划在TCL华兴工厂取得了巨大成功,未来将主要推动半导体、新能源、电子、石化四大产业。
一方面,由于各创东至源于TCL的基因和基础盘,各创东至对高端制造有着长期的实践经验和成熟的解决方案,可以继续打造“爆款”;另一方面,根据前面的分析,产业互联网全局优化的逻辑适用于某些信息化产业。同时,行业对生产效率的要求更高,行业本身成长迅速,效率提升带来的经济价值足够大。半导体、新能源、3C产业是筛选后的最佳选择。
第三,坚定看好中国工业互联网市场,致力于成为工业互联网行业的谷歌。
在谈到中国工业互联网的未来时,王锦有点兴奋地告诉一友:“中国将是最好的市场,有这样的信心主要有两个原因。第一,中国人口结构,中国每年毕业的大学生、研究生、博士在世界上最多;第二,中国拥有世界上最多的工业链接和场景,这使得中国工业领域产生的数据量是世界上最大的。”
歌创东至的目标是成为工业互联网领域的谷歌。在即将“浮现”价值的工业互联网大时代,各创东智凭借极客团队、强大的基础盘和深入的业务理解,传达出中国工业人心中的“火”。

温馨提示:内容仅供信息传播,供参考.

来源:亿欧

 

 

     
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